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机译:基于挠曲的微动载台的轮廓精度改进 跟踪重复的轨迹
Shi Jia; Yao Jiang; Tiemin Li; Yunsong Du;
机译:跟踪重复轨迹的基于挠曲的微动平台的轮廓精度提高
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